PECVD镀膜（硅烷、氨气输送）

推荐产品：WH00893 防静电PTFE软管（镀膜专用）

产品介绍：

PECVD工序使用硅烷、氨气等反应气体，管路需同时满足耐腐蚀、防静电、耐高温（部分伴热）。

诺思防静电PTFE软管，内层PTFE耐受硅烷、氨气，不反应、不吸附。防静电设计（≤10⁶Ω+接地）消除静电点火风险。耐温-70℃~+260℃，可适配伴热带加热。

管体柔韧，弯曲半径小，便于在镀膜设备内穿管。可选洁净清洗，避免颗粒物落入反应腔。

客户价值：保障镀膜均匀性，杜绝静电火灾，提升设备运行安全性。