诺思发布半导体级高洁净风管,助力国产芯片制造自主可控
随着半导体制造工艺进入纳米级时代,生产环境中的微观粒子控制已成为决定芯片良率与性能的核心命脉。洁净室风管系统作为维持ISO 14644-1 Class 1级(甚至更高)超净环境的关键“血管”,其自身的洁净度、释气性与耐久性直接关系到万亿级产线的稳定运行。近日,诺思(NOSS)正式推出专为半导体行业设计的 “晶盾”系列高洁净风管,以全面自主的技术方案,为国产半导体设备与材料供应链的完善提供关键支撑。
该系列产品直击行业痛点,实现了三大突破性进展:第一,高洁净。第二,低释气。第三,智能耐用。
亦可订做耐高温耐腐蚀加强型;
二级清洗(可订做):去除微米级的颗粒物,一般清洗后,在千级的洁净环境下进一步清洁,15M欧以上的去离子水或超纯水超声清洁,氮气吹扫。检测方法: 用黑光灯或紫外灯做目视检查,设备检查。包装:双层真空包装。用途:对颗粒物非常敏感的部件.
一级清洗(可订做):去除金属离子微小颗粒物,一般清洗后,在千级的洁净环境下进-步清洁,酸洗,18N欧以上的超纯水超声清洁,氮气吹扫。检测方法: VPD ICP-MS 包装: 双层真空包装。用途:与晶圆接触的部件 半导体风管晶圆通风管 芯片排气管 耐高温超高洁净排气管






特性:无油污,粉尘,杂质等异物晰出,抽取和鼓风用管,轻型,可压缩,(耐热+260℃), 超轻型和可压缩。
应用:广泛地配套在半导体,医药,化工及其相关产业中各种固定或移动的设备上。细小粉尘和少量纤维;活性强的介质,例如蒸汽和烟,工业除尘和抽吸,化工行业;用于强有机溶剂类,化工类废烟气抽取,强腐蚀性,强酸碱性,强氧化类气体的循环抽取和输送,洁净空调和通风装备抽取式和输送用。
优点:可用于输送绝大多数的化学物质,具有好的机械性能,具有良好的弯曲半径,具有好的耐老化、耐候及耐臭氧性能,具有耐磨损及耐强腐蚀性能。
目前,“晶盾”系列风管已在国内多家半导体设备商及晶圆厂的工艺排气、精密设备供气等关键系统中完成验证并投入应用。客户反馈显示,其不仅满足严苛的SEMI标准,更在长期使用的性能稳定性上表现良好,有效保障了连续生产的洁净环境需求。
诺思(NOSS)此次新品的成功研发,是其将 “德系品质”的严谨基因与“中国速度”的响应能力深度融合的成果。公司依托近二十年的材料研发与工艺积累,组建了跨学科的洁净技术团队,实现了从材料分析、结构设计到检测认证的全流程自主可控。这标志着诺思在高品质工业软管领域,已具备与国际一线品牌同台竞技、服务全球尖端制造业的实力与底气。
关于诺思(NOSS):
源自2008年,诺思是深圳市诺锐软管有限公司旗下核心品牌,专注于为半导体、新能源、生物医药等制造业提供高性能柔性软管输送方案。公司以“可靠,无须妥协”为产品哲学,致力于成为源自中国、服务全球的技术型品牌。