半导体Chiller液冷热循环管路，PTFE特氟龙软管，在精密半导体设备管路当中，有着比较广泛的应用。NOSS诺思WH31693系列PTFE软管，由深圳市诺锐软管有限公司生产制造，适配半导体TCU温控机组的冷却介质输送场景，是半导体设备流体回路当中比较常用的柔性管路部件。

在半导体设备实际运行工况当中，冷却管路会长期接触各类冷媒介质，管路材质的选择，会直接影响整套设备运行过程当中介质输送的稳定性。很多设备在调试阶段，会遇到普通橡胶、PU类软管和氟化冷媒介质不相容的情况，长时间运行之后，管体出现溶胀、渗透等现象，间接影响冷却回路的整体运行状态。WH31693系列PTFE软管，行业内也常把它叫做PTFE波纹管、特氟龙波纹软管、PFA波纹管、四氟波纹管、柔性波纹氟塑管，多用于Chiller冷却循环系统、TCU温控机配套管路，适配设备内部相对复杂的布线环境。

软管内层采用高纯PTFE树脂加工成型，和氢氟醚、全氟聚醚、电子氟化液这类冷媒介质相容性较好，面对多数腐蚀性工艺流体，表现出稳定的化学耐受能力，不容易出现溶胀的现象。管体内壁平整光滑，能够减少介质在管路内部的残留，适配晶圆车间对于管路洁净度的相关使用场景，降低金属离子析出带来的影响，减少外来杂质带入冷却循环回路的概率。

半导体车间属于高敏感的生产环境，管路内部介质高速流动摩擦，会产生一定静电累积。PTFE基材本身具备绝缘属性，输送介电类冷却介质时，可以减少管路内部静电积聚的情况，降低对周边精密电路带来的干扰。针对部分有静电管控需求的工况，该系列软管也可以做对应的防静电版本，疏导管路运行过程中产生的电荷，适配产线静电管控的相关要求。

设备内部低温冷媒循环运行时，管壁和环境空气存在较大温差，很容易出现管壁凝露滴水，给机柜内部电路板、元器件带来潮湿隐患。这款PTFE软管产品，可根据实际工况，配套一体式隔热层结构，在‑40℃低温冷液输送工况下，缓解管壁表面凝露滴水的现象，改善车间高湿环境下管路使用遇到的各类实际问题。

半导体设备工作时，压缩机、泵体持续运转，设备本体会产生持续性震动，硬管直接对接，接头位置长期承受震动，容易出现各类隐患。这款PTFE软管拥有不错的柔性表现，能够适配设备运行产生的震动，也可以补偿设备工作时带来的管路位移，现场布线走位更加灵活，适配设备内部狭小的安装空间，规避硬管折弯需要大量弯头转接的情况。

可以适配刻蚀设备、探针测试设备、光刻机、TCU冷热循环机组等半导体设备，作为氟化液冷却系统的配套管路使用。除半导体液冷工况之外，该款PTFE软管，也可应用在化工工艺介质输送，各类腐蚀性流体传输等工业场景，适配不同行业对于氟塑柔性管路的使用需求。

不同项目的介质成分、温度区间、负压压力、安装空间都存在差异，实际选型的时候，需要结合现场工况参数，确认软管的壁厚、波纹结构、接头形式、是否增加隔热层等细节，匹配项目真实的使用条件。在安装作业过程当中，也需要控制软管的弯曲半径，避免过度弯折，以此保障软管长期运行的使用状态。

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