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在半导体蚀刻车间的废气收集管路中,抽排介质是含有氟化氢、氯化氢和有机溶剂蒸汽的混合气体,同时管外环境也存在酸雾弥漫的情况。当软管外层长期暴露于这类腐蚀性氛围时,普通橡胶或PVC包覆层可能在数周内出现龟裂、粉化。这款将特氟龙设于外层、内置不锈钢弹性钢片支撑的复合结构软管,通过将耐化学性最好的材料置于最外层的设计逻辑,为强腐蚀性气体抽排场景提供了一种内外兼防的解决方案。
与常规将氟塑料用作内层不同,该软管将特氟龙置于外层。管壁外表面在接触酸雾、溶剂挥发物或芳香族碳氢化合物时,不溶胀、不腐蚀、不龟裂。在洁净室环境中,特氟龙的低表面能特性使灰尘和化学残留不易附着,便于擦拭清洁。同时,外层材质本身具备阻燃性能。
与常规外置螺旋钢丝不同,该软管将304或316不锈钢弹性钢片包覆于管内侧。在真空抽吸中抵抗负压而不吸瘪,在正压鼓风或输送中抵抗鼓胀,保持管腔通畅。软管具备可伸缩特性,安装时可吸收管道系统的热胀冷缩,减少对刚性连接的应力传递。弯曲半径约等于外径,在设备密集的厂房内可灵活布管。
内部与外部均保持平滑表面,内壁无波纹褶皱,气体通过时压损较低,颗粒物不易滞留,气流啸叫声也相应降低。温度范围覆盖-200℃至260℃,短时可达300℃,从液氮温区的冷气引导到高温焊气抽排均可适用。
适用于半导体行业强腐蚀性气体抽排、精密电子设备高温热气排放、强有机溶剂挥发物收集、超强化学品高温蒸汽抽吸、洁净室通风排气、除尘厂房、暖器及鼓风暖炉排气、焊气抽排等场景。规格范围为60-400mm,可按客户需求订做。
如需了解详细技术参数或选型建议,欢迎联系我司技术团队。
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